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薄膜吸收的潮气取代微孔和空隙,造成薄膜的折射率升高。由于薄膜的物理厚度保持不变,这种折射率升高伴有相应的光学厚度的增加,反过来造成薄膜光谱特性向长波方向的漂移。由空气进入镀膜后再进入玻璃穿透率=[ 4×1.0×1.5 / ( 1+1.5 )2] × [ 4×1.5×1.8 / ( 1.5+1.8 )2]=95.2%可是我们若能在镀膜的厚度上下点功夫,会发现反射光A与反射光B相差 nc×2D 的光程差。








如果从一个介质传递到另一个介质且折射率较低的光线的入射角大于由两种折射率的比值定义的材料临界角 (θC),则会发生全反射,光线将完全反射(图 4)。入射角等于临界角时,折射角等于 90°。两种光介质界面的透射和反射的振幅系数由菲涅耳透射和反射方程决定: 3

(5)ts=2n1cosθ1n1cosθ1+n2cosθ2ts=2n1cos⁡θ1n1cos⁡θ1+n2cos⁡θ2

(6)rs=n1cosθ1−n2cosθ2n1cosθ1+n2cosθ2rs=n1cos⁡θ1−n2cos⁡θ2n1cos⁡θ1+n2cos⁡θ2



在 IBS 过程中,各层的折射率也可以变化,这进一步提高了工艺控制水平。5 IBS 以其精度和可重复性著称,是激光光学镀膜的镀膜沉积技术。IBS的缺点是,成本比其他技术更高,因为在光元件中产生了更长的周期时间和应力,这可能导致变形和光学畸变。在离子束溅射 (IBS) 过程中,强电场使离子束上的离子加速到目标上,从而释放出更多的离子,在旋转的基片上沉积一层致密的薄膜